في عملية تصنيع الرقائق الإلكترونية ، تختلف متطلبات النظافة في مناطق الإنتاج المختلفة ،تستند بشكل رئيسي إلى معيار ISO 14644-1 واحتياجات دقة عملية الإنتاج لتحديدهذه هي المتطلبات المحددة:
المنطقة الحجرية:أعلى متطلبات النظافة، عادة ISO 1-3، تحتاج إلى السيطرة على 0.1 ميكرون و فوق الجسيمات.قد تسبب الجسيمات الصغيرة عيوب في نمط التصوير الضوئي، مما يؤثر على أداء الرقاقة.
أماكن الحفر والترسب:متطلبات عالية للنظافة، عموما ISO 3-5, تحتاج إلى السيطرة على 0.3 ميكرون و فوق الجسيمات.
مساحة الحزمة:متطلبات النظافة المتوسطة ، عادة ما تكون ISO 5-7 ، تحتاج إلى السيطرة على الجسيمات من 0.5 ميكرون وما فوق.
منطقة الاختبار:متطلبات النظافة منخفضة، عادة ما تكون ISO 7-8، تحتاج إلى السيطرة على جزيئات 0.5 ميكرون و فوق.
منطقة تخزين المواد الكيميائية:متطلبات النظافة منخفضة، عادة ما تكون ISO 7-8.
منطقة صيانة المعدات:الحد الأدنى من متطلبات النظافة، عموماً مستوى ISO 8.
غرف تغيير الملابس والإستحمام الهوائي:متطلبات النظافة متوسطة ، عادة ما تكون ISO 5-7.
منطقة وصول المواد:متطلبات النظافة منخفضة، عموما مستوى ISO 7-8.
تدابير الحفاظ على النظافة
نظام تنقية الهواء:مجهزة بمرشح عالية الكفاءة (HEPA) ومرشح فائق الكفاءة (ULPA) لضمان نظافة الهواء.
تنظيم تدفق الهواء:عادة ما يستخدم التدفق الأوحد الاتجاه العمودي في منطقة التصوير الحجري ، ويمكن استخدام التدفق غير الأوحد الاتجاه في المناطق الأخرى.
تحكم درجة الحرارة والرطوبة:يتم التحكم في درجة الحرارة بشكل عام عند 22 درجة مئوية ± 2 درجة مئوية ، ويتم التحكم في الرطوبة عند 45-65٪ RH.
تحكم الضغط الإيجابي:يجب الحفاظ على فرق ضغط إيجابي من 5-10Pa بين المنطقة النظيفة والمنطقة غير النظيفة.
باختصار ، تتفاوت متطلبات النظافة في تصنيع الرقائق الإلكترونية حسب العملية والمنطقة ، مناطق الطباعة الحجرية والحفر لديها متطلبات عالية للنظافة ،في حين أن مناطق التعبئة والاختبار منخفضة نسبياهذه المعايير الصارمة للنظافة هي المفتاح لضمان جودة تصنيع الرقائق
اتصل شخص: Mrs. Zhao
الهاتف :: 86 20 13378693703
الفاكس: 86-20-31213735
