أخبار الشركة عن ما هي خصائص غرف الأبحاث المعيارية في مصانع أشباه الموصلات？

تم تصميم الغرف النظيفة الوحيدة مع منطق "كتلة بناء" ، مما يسمح لمصانع أشباه الموصلات بتخصيص تخطيط المساحة وفقًا لمتطلبات العملية المحددة.

على سبيل المثال ، يمكن تكوين مناطق التصوير الضوئي والحفر والتغليف بمستويات نظافة مختلفة (من ISO 1 إلى ISO 9) بشكل مستقل.

هذه المرونة تلغي الحاجة إلى إعادة بناء واسعة النطاق عند ترقية خطوط الإنتاج ، مما يقلل بشكل كبير من أوقات التوقف.

يمكن تجميع و تفكيك الألواح الوحيدة ، التي عادة ما تكون مصنوعة من سبيكة الألومنيوم أو الصلب المجلفن بسرعة ،دعم التوسع السريع أو تعديل مناطق الغرف النظيفة مع تغير نطاقات الإنتاج.

تم تصميم كل وحدة غرفة نظيفة وحدات مع أنظمة الختم المتكاملة، بما في ذلك المفاصل المكبسة والضغط التفاضلي للضغط، لمنع التلوث المتبادل بين المناطق.

كما يتم تعديل أنظمة HVAC ، مع وحدات معالجة الهواء المخصصة (AHUs) لكل قسم ، مما يضمن التحكم الدقيق في درجة الحرارة (± 0.5 درجة مئوية) والرطوبة (± 2٪) وعدد الجسيمات.

يتم تضمين مرشحات الهواء عالية الكفاءة للجسيمات (HEPA) أو الهواء منخفضة الشفافية (ULPA) في ألواح السقف والجدران ،توفير تدفق الهواء المتسلسل أحادي الاتجاه الذي يقلل من تراكم الجسيمات على رقائق.

بالإضافة إلى ذلك، تتميز الغرف النظيفة المكونة من وحدات بتكامل أنظمة تصريف الأرضية وإدارة النفايات، والتي تحتوي على المواد الخطرة داخل مناطق محددة لتجنب انتشار الملوثات.