أخبار الشركة عن ما هي الفئة العامة للغرف النظيفة المعيارية في مصانع أشباه الموصلات؟

ما هي الفئة العامة للغرف النظيفة المكونة من وحدات في مصانع أشباه الموصلات؟

غرف نظيفة وحدات في مصانع أشباه الموصلات مصممة لتلبية معايير نظافة الهواء الصارمة التي تمليها عمليات التصنيع المحددة،تتوافق بشكل أساسي مع نظام التصنيف ISO 14644-1المستويات الأكثر شيوعا هي كما يلي:

1. فئة ISO 4 (تعادل Fed-Std-209E فئة 10)هذا هو أعلى مستوى يتم تنفيذه عادةً في شكل وحدات. وهو محجوز للمناطق الأكثر أهمية في العملية ، مثل الخلاءات المتقدمة للكتابة الضوئية للعقدة ، ومناطق ترسب الأفلام الرقيقة الرئيسية ،وبيئات التصوير الحجري للقنوات فوق البنفسجية المتطرفة (EUV)تتطلب هذه المناطق عددًا قريبًا من الصفر من الجسيمات للجزيئات الصغيرة بحوالي 0.1 ميكرومتر. تصل الغرف النظيفة الوحيدة إلى ذلك من خلال مجموعات كثيفة من وحدات تصفية المروحة (FFU) في HEPA أو ULPA,تخلق تدفقًا من الهواء في اتجاه واحد، عموديًا إلى الأرضية المرتفعة.

2. فئة ISO 5 (الفئة 100): هذا هو المعيار المعتاد لمناطق التصنيع الأساسية. معظم الغرف النظيفة الوحيدة للعمليات مثل الانتشار، الحفر، زرع الأيونات،والتكوين الكيميائي الميكانيكي (CMP) في المنطق السائد ومصانع الذاكرة مبنية على ISO 5. توفر بيئة خاضعة للرقابة حيث يقتصر عدد الجسيمات للجزيئات ≥ 0.5 μm على 3،520 لكل متر مكعب. يسمح البناء الوحدي بتخطيط فعال لأدوات العملية ،مطاردة المرافق، والعودة الجوية الكاملة.

3. فئة ISO 6 (فئة 1000): يتم استخدامهما عادةً في المناطق الأقل أهمية قليلاً، مثل بعض المناطق المقياسية، وبعض خطوط التجميع والتغليف، ومحطات فحص الوافرات،وممرات نقل المواد النظيفة (AMHS)فهي أيضا مناسبة لإنتاج أشباه الموصلات الطاقة أو الأجهزة على عقد العملية الناضجة.

4. فئة ISO 7 (فئة 10,000) و فئة ISO 8 (فئة 100,000): غرف نظيفة وحداتية في هذه المستويات تخدم وظائف الدعم والإسعاف. تستخدم عادة في مراكز خدمة المعدات ومناطق إمداد المواد الكيميائية والغاز (مناطق توصيل السلع السائبة) وغرف التنظيفومناطق تحضير تحميل / تفريغ الوافراتيعملون كمنطقة عازلة لمنع التلوث من الوصول إلى المصانع الأساسية